מבני שסתומי ויסות לחץ צולב זרימה אטרקטיביים עבור יישומי בקרת לחץ בזרימה גבוהה בשל ירידה בכוח ההפעלה הנדרש ואזור טביעת הרגל המופחת של המכשיר. שסתום שער סכין יוצר, השולט בזרימה של 1.3 Nl/min בלחץ אספקה של 1.5 בר. השסתום יוצר במיקרו באמצעות חריטת יונים תגובתית עמוקה (DRIE) וחיבור איחוי סיליקון. השימוש בשסתומי שער מיקרו במכונה במערכות בקרת לחץ משפר את הביצועים וניתן לממש חיסכון בעלויות.
שלח החקירה